Lpe S.P.A.

LPE Epitaxial Technology è un'azienda leader nel settore della tecnologia epitassiale, specializzata nello sviluppo e nella produzione di reattori epitassiali per il silicio carburo. Fondata nel 1972, l'azienda ha accumulato un'esperienza di cinquant'anni nel settore, fornendo soluzioni avanzate per l'industria semiconduttrice.

Prodotti

LPE offre una gamma completa di reattori epitassiali per il silicio carburo, progettati per garantire un'alta qualità e flessibilità nei processi di epitassi. I principali prodotti includono:

1. Silicio Carburo Epitassiale Reattore PE1O6:

   • Descrizione: Il reattore PE1O6 è un epitassiale a parete calda con riscaldamento induttivo. È progettato per trattare wafer da 150 mm e offre una straordinaria flessibilità di processo.
   • Caratteristiche:
     • Riscaldamento induttivo
     • Sistema di iniezione a tre zone per gas
     • Carico e scarico inerte tramite lock-load
     • Minima traccia di ossido di carbonio (CoO)
     • Alta velocità di crescita epitassiale
     • Capacità di processi a bassa pressione

2. Sistemi di Bubbler:

   • Descrizione: I sistemi di bubbler sono utilizzati per la distribuzione uniforme del gas nei reattori epitassiali. Garantiscono un'alta qualità delle superfici epitassiali grazie alla distribuzione precisa del gas.
   • Caratteristiche:
     • Distribuzione uniforme del gas
     • Alta precisione nei processi di epitassi
     • Compatibilità con vari tipi di gas

Servizi

LPE è impegnata a mantenere elevati standard di qualità, salute, sicurezza e ambiente, certificati da ISO 9001, ISO 14001 e ISO 45001. L'azienda si avvale di un sistema integrato di gestione che garantisce il rispetto delle normative internazionali in materia.