Deam Di Luca Montobbio

L'azienda opera nel settore della tecnologia avanzata, offrendo soluzioni innovative per processi di produzione e ricerca.

Prodotti

• Sistemi Plasma:
  • Sorgente plasma PTSA per flessibilità e minimi danni collaterali
• Metrologia:
  • Ellissometri
  • Riflettometri
• Sistemi per Trattamenti Termici e Deposizione DLI (Annealsys):
  • Forni per trattamenti termici
  • Sistemi di deposizione DLI
• Forni Industriali (ECM Greentech):
  • Modelli per ricerca e sviluppo
  • Modelli per produzione

Servizi

• Processi con Sistemi Plasma:
  • Processi a bassi danni collaterali
• Processi con Sistemi di Metrologia:
  • Analisi con ellissometri e riflettometri
• Trattamenti Termici e Deposizione DLI (Annealsys):
  • RTA (Rapid Thermal Anneal)
  • Annealing post impianto
  • RTO (Rapid Thermal Oxidation)
  • RTN (Rapid Thermal Nitridation)
  • Diffusione
  • Cristallizzazione
  • Selenizzazione
  • Contact Annealing
• Processi con Forni Industriali (ECM Greentech):
  • Annealing
  • Ossidazione wet
  • Doping
  • Diffusione
  • LYDOP/LYTOX
  • LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition)

Tecnologie

• Tecnologia plasma PTSA
• Metrologia avanzata (ellissometri, riflettometri)
• Trattamenti termici avanzati (RTA, RTO, RTN, ecc.)
• Deposizione DLI
• Tecnologie per forni industriali (annealing, ossidazione wet, doping, ecc.)

Settori Serviti

• Ricerca e Sviluppo
• Produzione Industriale
• Settore Tecnologico Avanzato
• Industria dei Semiconduttori